以成分控制與田口實驗規劃法開發多功能之Zr-Cu基金屬玻璃薄膜
博士論文名稱 |
以成分控制與田口實驗規劃法開發多功能之Zr-Cu基金屬玻璃薄膜 |
學校/科系 |
國立清華大學/材料科學工程學系 |
研究生姓名 |
李恩/106學年度 |
指導教授 |
杜正恭 |
中文關鍵詞 |
金屬玻璃、金屬玻璃薄膜、成分控制、磁控濺鍍、抗菌、Cu-Si擴散阻障層、田口實驗設計法 |