次世代電阻式記憶元件切換機制與新穎超臨界流體技術之研究
博士論文名稱 |
次世代電阻式記憶元件切換機制與新穎超臨界流體技術之研究 |
學校/科系 |
國立中山大學/材料與光電科學學系研究所 |
研究生姓名 |
施志承/105學年度 |
指導教授 |
蔡宗鳴 |
中文關鍵詞 |
超臨界流體氮化處理技術、相對介電常數、電阻切換機制、氧電漿、電阻式記憶體、氧濃度梯度 |