以原子層法製備之奈米複合薄膜於應用於可撓可拉伸阻氣,介電層,與導電層之研究
博士論文名稱 |
以原子層法製備之奈米複合薄膜於應用於可撓可拉伸阻氣,介電層,與導電層之研究 |
學校/科系 |
國立臺灣大學/材料科學與工程學研究所 |
研究生姓名 |
曾銘宏/104學年度 |
指導教授 |
蔡豐羽 |
中文關鍵詞 |
原子層沉積、薄膜封裝、可撓曲封裝、可拉伸封裝、超級電容 |