2024.11《第一百期》
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以微波電漿低溫製備結晶矽薄膜應用於軟性電子元件

 

博士論文名稱

以微波電漿低溫製備結晶矽薄膜應用於軟性電子元件

學校/科系

國立清華大學/材料科學工程學系

研究生姓名

謝秉諺/104學年度

指導教授

戴念華、李紫原

中文關鍵詞

結晶矽薄膜、微波電漿輔助化學氣相沉積系統、四氯化矽、可撓式結晶矽薄膜電子元件

 



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