氧化矽/有機矽薄膜封裝技術應用於光電元件之研究
博士論文名稱 |
氧化矽/有機矽薄膜封裝技術應用於光電元件之研究 |
學校/科系 |
國立中興大學/材料科學與工程學系所 |
研究生姓名 |
林揚士/104學年度 |
指導教授 |
武東星 |
中文關鍵詞 |
感應耦合電漿化學氣相沉積、四甲基矽烷、聚對苯二甲酸乙二酯、多層SiOx/Org.-Si薄膜堆疊結構、有機發光二極體、低水氣滲透率、可撓式薄膜太陽電池、疏水性、硬質 |