金屬有機氣相沉積成長技術在氮化鎵基高電子遷移電晶體之應用
博士論文名稱 |
金屬有機氣相沉積成長技術在氮化鎵基高電子遷移電晶體之應用 |
學校/科系 |
國立交通大學/材料科學與工程學系所 |
研究生姓名 |
呂憲中/103學年度 |
指導教授 |
張立 |
中文關鍵詞 |
金屬有機氣相沉積(MOCVD)、GaN、高電子遷移率電晶體(HEMTs)、磊晶成長、AlGaN |