電漿自由基分析技術應用於矽異質接面太陽能電池特性研究
博士論文名稱 |
電漿自由基分析技術應用於矽異質接面太陽能電池特性研究 |
學校/科系 |
國立中興大學/材料科學與工程學系所 |
研究生姓名 |
卓昀劭/104學年度 |
指導教授 |
武東星 |
中文關鍵詞 |
電漿輔助化學氣相沉積、本質非晶矽薄膜、異質接面太陽電池、電漿自由基、電漿分析設備 |