2024.11《第一百期》
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利用過濾式陰極電弧蒸鍍法製備奈米多層硬膜之研究

 

博士論文名稱

利用過濾式陰極電弧蒸鍍法製備奈米多層硬膜之研究

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

黃頌修/103學年度

指導教授

謝宗雍

中文關鍵詞

過濾式陰極電弧蒸鍍法、奈米多層硬膜、成分調變氮化鋁鈦多層膜、碳矽摻雜氮化鉻/氮化鋯奈米多層膜、奈米硬度、四甲基矽甲烷

 



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