超奈米微晶鑽石薄膜之混成結構應用於增強場發射元件穩定性之研究
博士論文名稱 |
超奈米微晶鑽石薄膜之混成結構應用於增強場發射元件穩定性之研究 |
學校/科系 |
國立清華大學/材料科學工程學系 |
研究生姓名 |
張庭熏/104學年度 |
指導教授 |
戴念華 |
中文關鍵詞 |
複合式鑽石薄膜、微波電漿輔助化學氣相法、奈米複合碳材、三極式場發射電晶體 |