新穎性氮化鋁與氮化銦鋁三族氮化物半導體磊晶成長之研究
博士論文名稱 |
新穎性氮化鋁與氮化銦鋁三族氮化物半導體磊晶成長之研究 |
學校/科系 |
國立交通大學/材料科學與工程學系所 |
研究生姓名 |
林珮吟/103學年度 |
指導教授 |
張立 |
中文關鍵詞 |
氮化鋁與氮化銦鋁之三族氮化物、有機金屬化學氣相沉積、磊晶薄膜成長、穿透式電子顯微鏡及球面像差修正掃描穿透式電子顯微鏡分析 |