金屬(鋁、鎳)誘導非晶矽側向結晶之研究
博士論文名稱 |
金屬(鋁、鎳)誘導非晶矽側向結晶之研究 |
學校/科系 |
國立交通大學/材料科學與工程學系所 |
研究生姓名 |
黃世陽/103學年度 |
指導教授 |
劉增豐 |
中文關鍵詞 |
金屬誘發側向結晶、鎳、非晶矽、旋轉塗佈法、壓應力、多晶矽 |