濕蝕刻藍寶石圖形化基板形貌演化對氮化鎵磊晶的影響
博士論文名稱 |
濕蝕刻藍寶石圖形化基板形貌演化對氮化鎵磊晶的影響 |
學校/科系 |
國立交通大學/材料科學與工程學系所 |
研究生姓名 |
陳俞中/102學年度 |
指導教授 |
吳耀銓 |
中文關鍵詞 |
發光二極體、圖形化藍寶石基板、濕蝕刻、氮化鎵 |