具高度(111)優選方向之奈米雙晶銅膜之製備,熱穩定性及其在3D IC封裝的應用
博士論文名稱 |
具高度(111)優選方向之奈米雙晶銅膜之製備,熱穩定性及其在3D IC封裝的應用 |
學校/科系 |
國立交通大學/材料科學與工程學系所 |
研究生姓名 |
黃以撒/102學年度 |
指導教授 |
陳智 |
中文關鍵詞 |
奈米雙晶銅、三維積體電路、冶金反應、熱遷移、微凸塊 |