2024.11《第一百期》
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微結晶矽材料於電子及光電元件之應用

 

博士論文名稱

微結晶矽材料於電子及光電元件之應用

學校/科系

國立交通大學/材料科學與工程學系所

研究生姓名

邱宥浦/102學年度

指導教授

潘扶民、謝嘉民

中文關鍵詞

微結晶矽、漸變式p型窗口層、熱燈絲化學氣相沉積系統、薄膜電晶體、雙金屬閘結構、感應耦合式化學氣相沉積系統

 



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