介穩態奈米結晶矽鍺薄膜之物性研究與應用
博士論文名稱 |
介穩態奈米結晶矽鍺薄膜之物性研究與應用 |
學校/科系 |
國立中央大學/化學工程與材料工程學系 |
研究生姓名 |
歐陽曜聰/103學年度 |
指導教授 |
吳子嘉 |
中文關鍵詞 |
矽鍺、介穩態、快速熱退火 |
介穩態奈米結晶矽鍺薄膜之物性研究與應用
博士論文名稱 |
介穩態奈米結晶矽鍺薄膜之物性研究與應用 |
學校/科系 |
國立中央大學/化學工程與材料工程學系 |
研究生姓名 |
歐陽曜聰/103學年度 |
指導教授 |
吳子嘉 |
中文關鍵詞 |
矽鍺、介穩態、快速熱退火 |