介穩態奈米結晶矽鍺薄膜之物性研究與應用

 

博士論文名稱

介穩態奈米結晶矽鍺薄膜之物性研究與應用

學校/科系

國立中央大學/化學工程與材料工程學系

研究生姓名

歐陽曜聰/103學年度

指導教授

吳子嘉

中文關鍵詞

矽鍺、介穩態、快速熱退火

 



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