高介電質與三五族之介面活性層在互補式金屬氧化層半導體之應用
博士論文名稱 |
高介電質與三五族之介面活性層在互補式金屬氧化層半導體之應用 |
學校/科系 |
國立交通大學/材料科學與工程學系所 |
研究生姓名 |
陸廣湖/104學年度 |
指導教授 |
張翼 |
中文關鍵詞 |
MOSCAP、MOSFET、AlN、Al2O3、HfO2 |