以原子層沉積技術製備氧化鋅薄膜電晶體之穩定性、電性以及可撓曲性研究
博士論文名稱 |
以原子層沉積技術製備氧化鋅薄膜電晶體之穩定性、電性以及可撓曲性研究 |
學校/科系 |
國立臺灣大學/材料科學與工程學研究所 |
研究生姓名 |
林沅昱/103學年度 |
指導教授 |
蔡豐羽 |
中文關鍵詞 |
薄膜電晶體、氧化鋅、穩定性、原子層薄膜沉積、封裝 |