半導體元件中介電材料的結構、電性、介電性質以及機械行為之理論分析與模擬研究
博士論文名稱 |
半導體元件中介電材料的結構、電性、介電性質以及機械行為之理論分析與模擬研究 |
學校/科系 |
國立臺灣大學/材料科學與工程學研究所 |
研究生姓名 |
陳宗儒/103學年度 |
指導教授 |
郭錦龍 |
中文關鍵詞 |
電子元件之介電材料、矽參雜二氧化鉿、鑭參雜二氧化鉿、有機-無機二氧化矽玻璃材料、第一原理計算 |