半導體元件中介電材料的結構、電性、介電性質以及機械行為之理論分析與模擬研究

 

博士論文名稱

半導體元件中介電材料的結構、電性、介電性質以及機械行為之理論分析與模擬研究

學校/科系

國立臺灣大學/材料科學與工程學研究所

研究生姓名

陳宗儒/103學年度

指導教授

郭錦龍

中文關鍵詞

電子元件之介電材料、矽參雜二氧化鉿、鑭參雜二氧化鉿、有機-無機二氧化矽玻璃材料、第一原理計算

 



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