高性能氧化鎳薄膜製程開發

 

博士論文名稱

高性能氧化鎳薄膜製程開發

學校/科系

國立臺灣大學/材料科學與工程學研究所

研究生姓名

郭宗諺/102學年度

指導教授

林新智

中文關鍵詞

傳統磁控濺鍍、NiO薄膜、NiO-Ag薄膜、NiO-Cu薄膜、NiO-In薄膜、Ar離子轟擊、新穎高功率脈衝磁控濺鍍、光電性質

 



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