高性能氧化鎳薄膜製程開發
博士論文名稱 |
高性能氧化鎳薄膜製程開發 |
學校/科系 |
國立臺灣大學/材料科學與工程學研究所 |
研究生姓名 |
郭宗諺/102學年度 |
指導教授 |
林新智 |
中文關鍵詞 |
傳統磁控濺鍍、NiO薄膜、NiO-Ag薄膜、NiO-Cu薄膜、NiO-In薄膜、Ar離子轟擊、新穎高功率脈衝磁控濺鍍、光電性質 |