2024.11《第一百期》
各期目錄瀏覽
  1.   第100-90期
    1. 《第一百期》
    2. 《第九十九期》
    3. 《第九十八期》
    4. 《第九十七期》
    5. 《第九十六期》
    6. 《第九十五期》
    7. 《第九十四期》
    8. 《第九十三期》
    9. 《第九十二期》
    10. 《第九十一期》
    11. 《第九十期》
  2.   第89-79期
    1. 《第八十九期》
    2. 《第八十八期》
    3. 《第八十七期》
    4. 《第八十六期》
    5. 《第八十五期》
    6. 《第八十四期》
    7. 《第八十三期》
    8. 《第八十二期》
    9. 《第八十一期》
    10. 《第八十期》
    11. 《第七十九期》
  3.   第78-68期
    1. 《第七十八期》
    2. 《第七十七期》
    3. 《第七十六期》
    4. 《第七十五期》
    5. 《第七十四期》
    6. 《第七十三期》
    7. 《第七十二期》
    8. 《第七十一期》
    9. 《第七十期》
    10. 《第六十九期》
    11. 《第六十八期》
  4.   第67-57期
    1. 《第六十七期》
    2. 《第六十六期》
    3. 《第六十五期》
    4. 《第六十四期》
    5. 《第六十三期》
    6. 《第六十二期》
    7. 《第六十一期》
    8. 《第六十期》
    9. 《第五十九期》
    10. 《第五十八期》
    11. 《第五十七期》
  5.   第56-46期
    1. 《第五十六期》
    2. 《第五十五期》
    3. 《第五十四期》
    4. 《第五十三期》
    5. 《第五十二期》
    6. 《第五十一期》
    7. 《第五十期》
    8. 《第四十九期》
    9. 《第四十八期》
    10. 《第四十七期》
    11. 《第四十六期》
  6.   第45-35期
    1. 《第四十五期》
    2. 《第四十四期》
    3. 《第四十三期》
    4. 《第四十二期》
    5. 《第四十一期》
    6. 《第四十期》
    7. 《第三十九期》
    8. 《第三十八期》
    9. 《第三十七期》
    10. 《第三十六期》
    11. 《第三十五期》
  7.   第34-24期
    1. 《第三十四期》
    2. 《第三十三期》
    3. 《第三十二期》
    4. 《第三十一期》
    5. 《第三十期》
    6. 《第二十九期》
    7. 《第二十八期》
    8. 《第二十七期》
    9. 《第二十六期》
    10. 《第二十五期》
    11. 《第二十四期》
  8.   第23-13期
    1. 《第二十三期》
    2. 《第二十二期》
    3. 《第二十一期》
    4. 《第二十期》
    5. 《第十九期》
    6. 《第十八期》
    7. 《第十七期》
    8. 《第十六期》
    9. 《第十五期》
    10. 《第十四期》
    11. 《第十三期》
  9.   第12-1期
    1. 《第十二期》
    2. 《第十一期》
    3. 《第十期》
    4. 《第九期》
    5. 《第八期》
    6. 《第七期》
    7. 《第六期》
    8. 《第五期》
    9. 《第四期》
    10. 《第三期》
    11. 《第二期》
    12. 《第一期》

利用遠程電漿輔助原子層沉積技術製作摻雜氮之結晶化高介電常數金屬閘極堆疊之研究

 

博士論文名稱

利用遠程電漿輔助原子層沉積技術製作摻雜氮之結晶化高介電常數金屬閘極堆疊之研究

學校/科系

國立臺灣大學/材料科學與工程學研究所

研究生姓名

黃芝傑/102學年度

指導教授

陳敏璋

中文關鍵詞

高介電係數介電層、二氧化鋯、原位原子層摻雜、沉積後氮化處理、緩衝層、遠程電漿輔助原子層沉積技術

 



中國材料科學學會 © 2016 Meterials Research Society Taiwan