藍寶石基板表面原子對蝕刻液分子的屏蔽效應影響圖案生成行為及其應用
博士論文名稱 |
藍寶石基板表面原子對蝕刻液分子的屏蔽效應影響圖案生成行為及其應用 |
學校/科系 |
國立中央大學/化學工程與材料工程學系 |
研究生姓名 |
林鴻宇/102學年度 |
指導教授 |
劉正毓 |
中文關鍵詞 |
圖案化藍寶石基板、發光二極體、濕式蝕刻、螢光粉封裝 |