清洗液處理後之銅晶圓表面之濕潤行為
博士論文名稱 |
清洗液處理後之銅晶圓表面之濕潤行為 |
學校/科系 |
國立中央大學/化學工程與材料工程學系 |
研究生姓名 |
涂勝宏/102學年度 |
指導教授 |
曹恒光 |
中文關鍵詞 |
接觸角、濕潤性、氧化銅、氧化亞銅、親水性、疏水性 |
清洗液處理後之銅晶圓表面之濕潤行為
博士論文名稱 |
清洗液處理後之銅晶圓表面之濕潤行為 |
學校/科系 |
國立中央大學/化學工程與材料工程學系 |
研究生姓名 |
涂勝宏/102學年度 |
指導教授 |
曹恒光 |
中文關鍵詞 |
接觸角、濕潤性、氧化銅、氧化亞銅、親水性、疏水性 |