矽鋁薄膜的製備、光學性質分析和在薄膜電晶體鈍化層應用的研究
博士論文名稱 |
矽鋁薄膜的製備、光學性質分析和在薄膜電晶體鈍化層應用的研究 |
學校/科系 |
國立中山大學/材料與光電科學學系研究所 |
研究生姓名 |
董寰乾/102學年度 |
指導教授 |
張六文 |
中文關鍵詞 |
矽鋁靶材、非晶質銦鎵鋅氧薄膜電晶體、奈米顆粒、非導電性真空鍍膜、鈍化層 |