成長於氧化鎂基板上之氮氧化鈦與碳氧化鈦磊晶薄膜結構與特性研究
博士論文名稱 |
成長於氧化鎂基板上之氮氧化鈦與碳氧化鈦磊晶薄膜結構與特性研究 |
學校/科系 |
國立交通大學/材料科學與工程學系所 |
研究生姓名 |
杜氏賢/102學年度 |
指導教授 |
張立 |
中文關鍵詞 |
氮氧化鈦、碳氧化鈦、奈米壓痕、磊晶薄膜 |